通过气体传感技术

突破产品创新的极限

解决小型化和低功耗的挑战

自MOS型气敏元件诞生以来，小型化和低功耗一直是困扰我们的难题。世界上最小的、功耗最低的新型气体传感器正在使用MEMS技术开发，进一步拓宽了应用领域。

小型化和降低功耗

传感器平台开发

自发明以来，MOS型气体传感器一直受到小型化和降低功耗的不断要求。费加罗已经开发了各种各样的传感器平台，例如微珠型，以减少尺寸和功耗。MEMS型气体传感器是Figaro最新开发的适合嵌入移动和电池驱动设备中的传感器。

微机电系统

一种技术

在小型化方面取得的进展

电子产品

MEMS技术在电子产品小型化方面取得了长足的进步。随着MEMS技术在气体传感器中的应用，Figaro成功地开发出了世界一流的、体积小、功耗低的气体传感器。结合了优越的MEMS技术和气体传感器制造技术，Figaro将气敏区域的尺寸缩小到印刷传感器面积的1/100以下。此外，用于隔热的优质悬挂结构将气敏元件的热损失降至绝对最小。

费加罗通过设计精细的热应力计算来支持这种结构，克服了使传感器具有悬挂结构的耐久性的固有困难。

*1菲加罗工程勘察结果（2013年12月）

什么是MEMS？

MEMS（Micro Electro-Mechanical Systems）是应用和制造的微型和高功能的电机系统和设备（即使用在

半导体制造、粘着制造（如应用精密制造设备的薄膜沉积）和减法制造技术（如蚀刻）。

杰出的

小型化

0.99毫米×2.5毫米×3.2毫米

采用MEMS技术制造的新型气体传感器非常小，为0.99mm×2.5mm×3.2mm。与传统的MOS型气体传感器相比，Figaro的MEMS传感器不输出高热量。除了实现足够的小型化，确保长期的耐用性和坚固性提出了进一步的挑战。通过成功应对这些挑战，Figaro Engineering已经证明了其在极限产品领域的实力。

功率消耗

大约十三分之一

传统产品的

为了充分利用气体传感器的功能，传感元件必须加热到几百摄氏度。传统的气体传感器消耗相当大的功率（210兆瓦）。采用MEMS技术的新产品可以将功率降低到传统水平的1/13，而精确气体传感只需要15mW。现在，便携式气体检测仪的功能也尽可能广泛地由电池供电。新的应用和便利现在可以在广泛的范围内。

由于MEMS传感器的快速热响应，能够在几十毫秒内从室温变为工作温度，因此Figaro传感器的应用有望大大扩展。这种短响应时间允许间歇驱动缩短加热器的开启时间，从而降低功耗。

移动应用增加

小型化和小型化

功率消耗

气体传感器的小型化和低功耗使得其应用范围几乎是无限的。可穿戴设备和便携式设备，如移动电话和智能手机是显而易见的应用。在日常生活中，检查口臭和口臭酒精的个人设备可能变得很普遍。在新家里测量挥发性有机化合物和空气质量的能力为避免病院综合症和哮喘并发症提供了可能性。此外，使用小型设备监测一氧化碳和硫化氢等危险气体的能力将带来拯救生命的好处。

生态产品开发

小型化和

降低功耗

新产品可以变得更小更节能。虽然单独来看这些好处不大，但当大规模实施时，这些设备可以对全球环境做出重大贡献。气体传感器便携性的发展引起了空气质量和环境的强烈兴趣